英特尔虽然认购了15,但其中10针对18寸晶圆光刻,只有5是对ev的投资。
台积电认购了5,三星想了半天只认购了3,放弃了2。
大约在2015年时,两年半锁定期一到,台积电便急忙卖掉了持有的asl全部股份,因为ev还是个技术难度非常大的‘幻梦’。
由于18寸晶圆的难产,英特尔对此投资兴趣也索然,随后它每23年减持一半,最后也全部卖光。
三星对ev最不看好,所以投资最晚认购也最少,哪怕是在2016年时,仍然选择减持一半。
所以,在2010年这个时间点,目前全世界光刻领域的精力还是集中在v(深紫外)上的各种探索。
包括想办法进行沉浸式光刻、多重曝光等等,因为原先v极限只能支撑90n制程的光刻。
如果是2020年,很多人也一定听过包括哈工大在内的部分学校用不了atb。
如果是2020年,很多人也一定听过层出不穷的禁令。
内容未完,下一页继续阅读