早在年前基金给的500亿投资款即时到账后，前沿就分出来多达76亿的资金款来筹备生产白泽半导体一二期所需要的dv光刻机。
根据相关规划，为了实现年产百万片12寸晶圆，需要38台光刻机。
这还是在当时预计清华能解决‘工件台系统’稳定性的可能下。
好在，去年海量资金的投入和基金投资及时到来，总算是搞定了所有核心部件。
前沿向上微电的委托订单，根本就没有因外部环境的变化而中断。
所以，预计顶多半年后这批光刻机就能下线。
而且这批光刻机按理论上的设计标准是能支持纳米这中间几个阶段工艺的光刻。
只需要升级核心部件即可。
2013年开年就有这等好消息，方年心情很是愉悦，起码是解决了一桩大事，有了最基本的底气。
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